一、動態氣體校準儀工作原理：

動態氣體校準儀主要由質量流量控制器、臭氧發生器、電源、管閥件、控制板及軟件組成。
質量流量控制器用于精確控制零氣和標氣流量，零氣控制采用大流量控制器（10slpm），標氣采用小流量控制器（100sccm）。氣體輸出后通過混合室進行混合，達到所設定控制的濃度
內置的臭氧發生器是由零氣經紫外線照射而生成的，通過改變紫外線光強或零氣的流量來控制臭氧發生的濃度主要由質量流量控制器、臭氧發生器、電源、管閥件、控制板及軟件組成。

二、功能特性：

• 技術成熟可靠
• 核心部件均為*
• 配比精度高，響應時間段
• 模塊化設計
• HMI觸摸屏，操作簡便
• 內置MFC標定校準程序

三、技術特性：

• 質量流量計準確度：＜1%F.S
• 質量流量計重復性：＜0.25%F.S
• 零氣流量： 10sl/min
• 標氣流量： 100sml/min
• 標氣入口： 3通道
• 臭氧發生器輸出濃度： 5ppm/1slpm
• 操作溫度： 0-45攝氏度
• 大稀釋比： 1000:1
• 響應時間： 60s
• 電源： 220VAC@50Hz
• 尺寸： 440mm（寬） *178mm（高*420mm（深）（參考）
• 標準配置： 主機一套、電源線一根、說明書一份